转自台湾经济日报消息，荷兰设备大厂艾司摩尔（ASML）并购股后汉微科，牵动台积电与三星的制程竞赛。设备业者认为，ASML并购汉微科之后，可能协助三星加快7纳米量产，使得台积电与三星的7纳米大战战火更烈。

业界观察，三星在10纳米制程失利之后，已宣布提前7纳米量产计画，率先在7纳米导入ASML量产的极紫外光微影制程（EUV）设备机台。三星规划，明年第2季或第3季EUV机台装设完工之后，明年底就会用于量产7纳米芯片。

台积电在7纳米制程尚未导入EUV设备。由于ASML并购汉微科之后，在先进制程机台能量大幅提升，业界密切关注ASML是否会协助三星加快7纳米布局，以及台积电后续因应动作。

台积电表示，对ASML并购汉微科持肯定态度，预期以ASML雄厚财力，可以让汉微科有更大的后盾，支持在电子束检测更先进的研发。

对于三星提前在7纳米采用EUV微影制程，台积电表示，考量目前EUV设备还有很多技术瓶颈，公司才决定不在7纳米导入使用，将紧盯对手发展。台积电强调，若EUV设备在2018年更成熟，该公司也会采取应变对策，绝不会让对手取得先机。