据调研机构 Gartner 数据，全球前五大半导体设备厂已囊括市场近六成市占，大厂间各擅胜场，且争斗明显打得火热，不只艾司摩尔，近三年来另外两大半导体设备厂应材、科林都相继大手笔发动并购。

据 Gartner、投资研究网站 Seeking Alpha 数据，以应用材料(Applied Materials)在半导体设备市场市占为最高来到 19.1%，产品线涵盖也最广，尤在蚀刻与化学气相沉积(CVD)领域别有专精，2013 年 9 月应材原与第四大厂东京威力科创(Tokyo Electron)决议合并，工研院 IEK 产业情报网当时分析，若合并成功，两者形成的新公司市占将接近 28%、有 12 项设备市占达全球第一，不料最终这项并购被美国司法部挡下。

而 2015 年以 14.3% 市占跻身第二的科林(Lam Research Corp.)主要在蚀刻机台、薄膜沉积设备拥有不小的市场，原本的市场二哥艾司摩尔(ASML)，2015 年市占落到 14.1% 屈居第三，艾司摩尔主要则以曝光机见长，在半导体进到 10 奈米以下制程竞赛后，其所开发的极紫外光(EUV)机台也日受重视。

科林在 2015 年 10 月才宣告并购老五科磊(KLA-Tencor Corp.)再度扩张版图，科磊产品线主要以光学检测(Optical)为主，主要精于制程良率的控管，科林的制程设备加上科磊的检测设备正好建立起更完善一站式服务，而今市占被超越的艾司摩尔并汉微科除了能收一样的综效，或也多了几分与科林/科磊大联盟相抗衡的意味。

科磊的光学检测(Optical)与汉微科的电子束检测(E Beam)刚好分属两种不同的检测技术，光学检测强调大面积的宏观检查，电子束则为细微的检测，耗时较长，但能测出实体缺陷与电性缺陷，在光学式检测达到本身极限下，电子速检测日趋受到重视。汉微科本身在电子束检测的市占就高达八成以上，艾司摩尔藉此补足了相较于应材、科林两大厂所缺乏的光学检测技术。